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        PECVD开启式管式炉系统
        关 键 词:PECVD系统,真空镀膜、纳米薄膜材料制备
        PECVD开启式管式炉系统在真空压力下,加在电感线圈的射频电场,使反应室气体发生辉光放电,在辉光发电区域产生大量的电子bbin体育。这些电子在电场的作用下获得充足的能量,其本身温度很高,它与气体分子相碰撞bbin体育,使气体分子活化。它们吸附在衬底上,并发生化学反应生成介质膜bbin体育,副产物从衬底上解吸,随主气流由真空泵抽走,称为等离子体增强化学气相沉(PECVD)。
        型       号:PECVD-1200
        品       牌:钜晶
        发货周期:1-5个工作日
        接受订制:可按要求定制
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        在真空压力下,加在电感线圈的射频电场,使反应室气体发生辉光放电,在辉光发电区域产生大量的电子bbin体育。这些电子在电场的作用下获得充足的能量,其本身温度很高,它与气体分子相碰撞,使气体分子活化。它们吸附在衬底上bbin体育,并发生化学反应生成介质膜,副产物从衬底上解吸,随主气流由真空泵抽走,称为等离子体增强化学气相沉(PECVD)。

        PECVD开启式管式炉系统由开启式管式炉、高真空分子泵系统、射频电源系统及多通道高精度数字质量流量控制系统组成,是实验室生长薄膜石墨烯bbin体育,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择。

        主要功能和特点:

        1、PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少bbin体育、不易龟裂等bbin体育;

        2bbin体育、PECVD工艺中由于等离子体中高速运动的电子撞击到中性的反应气体分子,就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应;

        3、借助射频等使含有薄膜组成原子的气体bbin体育,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜;

        4bbin体育、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成,最高真空可达0.001Pa;

        5bbin体育、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计bbin体育,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;

        6bbin体育、每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性;

        7、采用KF快速法兰密封,装卸方便快捷;

        8bbin体育、管路采用世界顶级Swagelok卡套连接,不漏气;

        9、超温、过压时,自动切断加热电源及流量计进气,使用安全可靠bbin体育。

        主要用途:

        高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备,生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等bbin体育,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

        技术参数:

        SKGL-1200

        开启式管式炉

        控温方式

        采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序bbin体育。

        加热元件

        0Cr27Al7Mo2

        工作电源

        AC220V 50Hz/60Hz

        额定功率

        4kw

        炉管材质

        高纯石英管

        炉管尺寸

        Φ60/Φ80*1200mm

        工作温度

        1150

        最高温度

        1200

        恒温精度

        ±1

        恒温区

        200mm

        升温速度

        10/min

        密封方式

        不锈钢快速法兰挤压密封

        ZK-F

        分子泵真空系统

        真空范围

        0.1-0.001Pa

        极限真空

        4.0*10^-4Pa

        产品配置

        双级旋片真空泵+分子泵

        测量方式

        复合真空计

        真空规管

        电阻规+电离规

        冷却方式

        风冷

        工作电源

        AC220V 50/60HZ

        抽速

        110L/S

        射频电源系统

        射频功率输出范围

        5~500W

        射频频率

        13.56MHz±0.005%

        噪声

        55DB

        冷却方式

        风冷

        功率温定度

        ± 0.1%

        HQZ-

        混气系统

        流量规格

        0200sccm (可根据客户需要配置)

        线性

        ±1.5%F.S

        准确度

        ±1.5%F.S

        重复精度

        ±0.2%F.S.

        响应时间

        8sec

        耐压

        3MPa

        气路通道

        4通道(根据客户需求)

        针阀

        316不锈钢

        管道

        Φ6mm不锈钢管

        接口

        SwagelokΦ6mm


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